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金属/半导体/金属结构TiO2紫外光探测器的制备方法 2018.04.18

| 成果概况

本成果的主要研究工作是纳米TiO2薄膜的制备及其金属-半导体-金属(MSM)结构的光伏型紫外探测器的研制。大家利用溶胶-凝胶法制备以石英片为衬底制备了纳米晶TiO2薄膜材料,利用射频磁控溅射法在TiO2薄膜上溅射金属Au形成肖特基接触,采用标准光刻技术形成叉指状电极。器件的光响应远高于其他MSM型宽禁带紫外光探测器,并且器件有较快的响应恢复时间。采用此项技术研制的紫外探测器具有成本低、稳定性好、工艺简单的特点,适于批量生产。


| 成果成熟度

中试阶段。


| 应用领域及市场前景

半导体紫外光电探测器具有抗干扰能力强和适于在恶劣环境下工作等优良的特性,具有极高的军事和民用价值。体积小、效率高、成本低、易于集成、适于在恶劣环境下工作的新型宽禁带半导体紫外探测器及大尺寸紫外成像器件的研究成为国际上光电探测领域的研究热点。由于宽禁带半导体TiO2材料价格低廉,本身具有非常好的耐候性、物理和化学稳定性、适宜的光电特性,而且在材料制备方面有众多成熟的手段,以满足不同应用的需要,因此在紫外探测方面显示出独特的应用前景。


| 合作方式

合作开发、技术入股。



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